- 글번호
- 121713
스크러버 시스템
- 분류
- 반도체 공정장비
- 수정일
- 2026.06.29
- 작성자
- 반도체특성화대학사업단
- 조회수
- 144
- 등록일
- 2026.06.29
기계특징
공정에 사용되는 폐가스를 안정적으로 처리 가능한 장비
사양
• 모델: 507BWS
• TOTAL CAPACITY : 500 slm
• Process : Heat-wet 방식 & Redundant heating system
• 일체형 water Re-circulation system
• Full auto PLC control & touch screen 방식
• TOTAL CAPACITY : 500slm ( 처리 가스 종류 : H2S, H2Se, DESe)
• OPERATION TEMPERATURE : 750 ~ 800℃
• INLET PORT: 4 port, 가스 주입 압력계 설치
• OUTLET port : 1port flange
• material : 내 부식에 강한 재질 사용
사용문의
• gchip@gachon.ac.kr
