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- 글번호
- 121706
항온항습기
- 분류
- 반도체 공정장비
- 수정일
- 2026.06.29
- 작성자
- 반도체특성화대학사업단
- 조회수
- 118
- 등록일
- 2026.06.29
기계특징
• P-프로젝트를 비롯한 반도체공정실험, 센서공학, 캡스톤 디자인 등 실험‧실습 교과목에서 항온/항습 조건(저습~고습, 저온~고온)을 정밀하게 재현함으로써 공정 중 소재 특성 변화, 소자 동작 안정성, 패키징 신뢰성 등을 직접 확인할 수 있는 교육·연구 환경을 제공.
• 저온(약 –40 ℃)에서부터 고온(약 150 ℃)까지 온도 조절이 가능해야 하며 저습(약 25 %)에서부터 고습(약 95 %)까지 습도 조절이 가능.
사양
• 모델: TH-GA-180
• 외부 폭/깊이/높이 길이: 705 mm/1212 mm/1645 mm
• 내부 폭/깊이/높이 길이: 500 mm/630 mm/600 mm
• 내부 부피: 189 L
• 조절가능 온도 범위: –40 ~ 150 ℃
• 온도 변동(Fluctuation, ±°C): 0.3
• 온도 편차/균일도(Variation, ±°C): 0.5
• 가열 시간 (–40 °C → 120 °C, 분): 60
• 냉각 시간 (20 °C → –40 °C, 분): 60
• 조절 가능 상대 습도 범위: 25 ~ 95 %
• 습도 변동(Fluctuation, ±%RH): 0.4
• 습도 편차/균일도(Variation, ±%RH): 3.0
사용문의
• gchip@gachon.ac.kr



