- 글번호
- 121714
인공지능소자 측정용 프로브스테이션
- 분류
- 반도체 공정장비
- 수정일
- 2026.06.29
- 작성자
- 반도체특성화대학사업단
- 조회수
- 157
- 등록일
- 2026.06.29
해당 장비는 반도체 소자의 Wafer 상태 및 Device 상태에서의 전기적 특성을 활성화하는 고정밀급 반도체용 계측 장비로서 반도체의 동작 전압측정, 동작 전류측정, 누설 전류측정, 브레이크 다운 전압측정, 전도도 및 저항측정, 디바이스 수명 예측, Hot Carrier Test 등 다양한 파라미터를 테스트할 수 있는 장비이다.
• Vacuum Chamber M5VC: Vacuum(10(-3 torr)_Temp : 77K ~ 570K), ~ 10fA Leakage Current, Main Chamber Dimension(215(dia), 175(h))
• Microscope: Total magnification Maximum(200x), Zoom(1x ~ 7x)
• CCD Camera: 2.2M Pixel, CCD C-mount, 1/3", 15" LCD Monitor
• Vacuum Positioner PBC400: X Stage Travel(43mm), Resolution(1um), Y/z Stage Travel(30mm), Resolution(1um)
• Positioner Holder PH-VC155: Triaxial Cable 1.5M, Triaxial Plug
• Parameter Analyzer
• B1500A :Semiconductor Device Analyzer Mainframe
• B1500A-A11: Mid Power Source Monitor Unit
• B1500A-ATO: Waveform Generator / Fast Measurement Unit
• gchip@gachon.ac.kr
