교육용 장비 구축

교육용 RIE

기계특징

본 장비는 실리콘 웨이퍼 및 기타 반도체 기판의 식각 공정 최적화 및 반도체 소자 제작 및 연구에 사용됩니다.

교육용 장비로서 반도체 제조 공정의 이해를 돕기 위한 실습 및 교육 도구로 사용되며, 플라즈마 식각 기술에 대한 실험 및 데이터 분석을 통해 학생 연구자들이 실질적인 경험을 쌓을 수 있도록 합니다.

사양

• 모델: 교육용 RIE System

• 공정 챔버 모듈 (Process chamber module)

- Sample loading up to 6“ wafer with >7.2” dia. electrode

• 로드락 챔버 모듈 (Load-lock chamber module)

- End-effector for 6“ wafer loading

• 공정 압력 제어 및 진공 배기 라인 (APC module & pumping line package)

• 공정 가스 공급 모듈 (Gas supply module)

- 3 x gas channel (Ar, Cl2, O2 )

• 주파 전원장치 및 자동 정합기 (RF power and impedance matching module)

- Frequency : 13.56MHz

- Max. output power : 600W

• 컨트롤러 및 운영 S/W (Process controller and operation S/W

사용문의

• gchip@gachon.ac.kr

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