교육용 장비 구축

융복합표준광원

기계특징

반도체 소자 및 공정에서 사용되는 산화막, 질화막, 금속, 웨이퍼 등의 광학적 특성(투과율, 반사율, 빛의 산란 정도)과 결함 여부를 정밀하게 파악할 수 있는 다목적 연구 장비임.

사양

• 모델: TLS2-T250A-G

• 광원의 종류: 250 W 텅스텐 할로겐 램프

• 조사 가능 파장 범위: 350~2400 nm의 단색광

• 출력 불안정성: 1% 미만

• 초점 거리: 200 mm

• 파장 정확도: ±0.2 nm

• 파장 재현성: 0.1 nm 이내

• 밴드폭: 0.15-10 nm (350-1000 nm의 파장에서), 0.3-23 nm (800-2400 nm의 파장에서)

사용문의

• gchip@gachon.ac.kr

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